изопланарная технология масштабированных интегральных схем

izoplanarioji mažinamosios litografijos integrinių grandynų technologija statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. scaled isoplanar integrated-circuit process vok. Isoplanartechnik mit maßstäblicher Verkleinerung, f rus. изопланарная технология масштабированных интегральных схем, f pranc. technologie isoplanaire à réduction à l'échelle, f